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Optischer Mehrwellenlängen-Sensor zur Messung von Abständen (d) zu einer Oberfläche (5) umfassend: a) zwei oder mehr Laser (1a–1c) unterschiedlicher Wellenlänge, b) einen Sensorkopf (4), mit: – einem ersten optischen Element (11, 15) mit teilreflektierender Strahlaustrittsfläche (24), die Teile des Strahls als Referenzstrahl (13) zurückreflektiert, wobei der Rest als Abtaststrahl (14) austritt und nach Reflektion an der Oberfläche wieder eintritt, wobei Abstast- und Referenzstrahl interferieren und einen Messstrahl bilden, – ein elektrisch ansteuerbares Modulationselement (17) zur Variation der optischen Weglänge zwischen Strahlaustrittsfläche und Oberfläche c) eine Auswerteeinheit (30), die im Messstrahl die Intensität jeder Wellenläng feststellt d) wenigstens ein zweites optisches Element (2a, 2b), das die Laserstrahlen zu einem Strahl zusammenfasst und zum ersten optischen Element führt e) wenigstens ein drittes optisches Element (3, 6a–c), das den Messstrahl zur Auswerteeinheit führt. Die Auswerteeinheit ist eingerichtet für eine Vielzahl aufeinanderfolgender Abstände Abstandswerte zu ermitteln und für einen gegebenen Abstand für jede Laserwellenlänge aus dem Messstrahl die Phasendifferenz zwischen Referenzstrahl und Abtaststrahl zu ermitteln, und aus den Phasendifferenzen zweier aufeinanderfolgender Abstände für jede Wellenlänge eine Änderung des Phasendifferenzwertes zu ermitteln und aus den Änderungen der Phasendifferenzwerte eine Konsistenzprüfung durchzuführen. |
