发明名称 Halbleiterteilchendetektor und Verfahren zu seiner Herstellung
摘要
申请公布号 DE69523285(D1) 申请公布日期 2001.11.22
申请号 DE19956023285 申请日期 1995.02.27
申请人 CO.RI.M.ME. CONSORZIO PER LA RICERCA SULLA MICROELETTRONICA NEL MEZZOGIORNO, CATANIA 发明人 FALLICA, PIERO GIORGIO
分类号 G01T1/24;H01L31/09;H01L31/115;H01L31/118;(IPC1-7):H01L31/115 主分类号 G01T1/24
代理机构 代理人
主权项
地址