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发明名称 MICROMECHANICAL COMPONENT AND CORRESPONDING PRODUCTION METHOD
摘要
申请公布号 EP1554218(A2) 申请公布日期 2005.07.20
申请号 EP20030759810 申请日期 2003.02.21
申请人 ROBERT BOSCH GMBH 发明人 NUECHTER, WOLFGANG;FISCHER, FRANK;HAAG, FRIEDER;GRAF, ECKHARD
分类号 B81B3/00;B81B7/00;B81C3/00;H01L21/56;H01L21/60;H01L23/02;H01L23/495;(IPC1-7):B81B7/00 主分类号 B81B3/00
代理机构 代理人
主权项
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