发明名称 METHOD AND DEVICE FOR ALIGNING A PLANAR TABLE SURFACE
摘要 <p>Zum Ausrichten einer ebenen Tischoberfläche (14) relativ zu einer Referenzlinie (46) wird ein erster Positionssensor (40b) bereitgestellt, der in einem senkrechten Abstand zu der Tischoberfläche (14) angeordnet ist. Die Tischoberfläche (14) wird entlang einer ersten Bewegungsrichtung (20) verfahren und es wird ein erster Führungsfehler bestimmt, der eine Kippbewegung der Tischoberfläche (14) relativ zu dem ersten Positionssensor (40b) entlang der ersten Bewegungsrichtung (20) repräsentiert. Des Weiteren wird die Tischoberfläche (14) entlang einer zweiten Bewegungsrichtung (19) quer zu der ersten Bewegungsrichtung (20) verfahren und es wird ein zweiter Führungsfehler bestimmt, der eine Kippbewegung der Tischoberfläche (14) relativ zu dem ersten Positionssensor (40b) entlang der zweiten Bewegungsrichtung (19) repräsentiert. Außerdem wird ein dritter Führungsfehler bestimmt, der eine Kippbewegung des zweiten Positionssensors (28) relativ zu dem ersten Positionssensor (40b) entlang der zweiten Bewegungsrichtung (19) repräsentiert. Anschließend wird ein aktueller Verlauf der Referenzlinie (46) mit dem zweiten Positionssensor (28) bestimmt und die Tischoberfläche (14) wird in Abhängigkeit von den ersten, zweiten und dritten Führungsfehlern relativ zu dem aktuellen Verlauf ausgerichtet.</p>
申请公布号 WO2008022694(A1) 申请公布日期 2008.02.28
申请号 WO2007EP06792 申请日期 2007.08.01
申请人 CARL ZEISS INDUSTRIELLE MESSTECHNIK GMBH;HOELL, MICHAEL 发明人 HOELL, MICHAEL
分类号 G01B11/02;G01B11/26 主分类号 G01B11/02
代理机构 代理人
主权项
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