| 发明名称 | 涡流传感器 | ||
| 摘要 | 一种涡流传感器，包括：空心的传感器线圈，设置在具有多个区的基板附近，并被容纳在高导磁率材料的外壳中；信号源，被配置用于为该传感器线圈提供AC信号，以在该基板中产生涡流；检测电路，被配置用于获得关于在该基板的所述多个区中产生的涡流的信号数据；以及控制器，被配置用于基于该信号数据来检测工艺的结束点。 | ||
| 申请公布号 | CN101329157A | 申请公布日期 | 2008.12.24 |
| 申请号 | CN200810134025.5 | 申请日期 | 2004.10.18 |
| 申请人 | 株式会社荏原制作所 | 发明人 | 多田光男;须藤康成 |
| 分类号 | G01B7/06(2006.01);H01L21/00(2006.01);H01L21/02(2006.01) | 主分类号 | G01B7/06(2006.01) |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人 | 夏青 |
| 主权项 | 1、一种涡流传感器，包括：空心的传感器线圈，设置在具有多个区的基板附近，并被容纳在高导磁率材料制成的外壳中；信号源，被配置用于为所述传感器线圈提供AC信号，以在所述基板中产生涡流；检测电路，被配置用于获得关于在所述基板的所述多个区中产生的所述涡流的信号数据；以及控制器，被配置用于基于该信号数据来检测工艺的结束点。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||