发明名称 |
Bonded article with improved work function uniformity and method for making the same |
摘要 |
|
申请公布号 |
EP1063670(B1) |
申请公布日期 |
2009.11.25 |
申请号 |
EP20000305016 |
申请日期 |
2000.06.13 |
申请人 |
LUCENT TECHNOLOGIES INC. |
发明人 |
KATSAP, VICTOR;WASKIEWICZ, WAREN K. |
分类号 |
H01J1/15;H01J9/04;H01J37/06;H01J37/305;H01L21/027 |
主分类号 |
H01J1/15 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|