| 摘要 |
ターゲットポンプを保護する装置及び方法であって、該ターゲットポンプ（１０）の吸入口には吸入マニホールド（２０）が提供され、該ターゲットポンプの排出口には排出マニホールド（３０）が提供される。前記ターゲットポンプが動作していない間に、ＡＬＤ法で前記吸入マニホールドを通じて前記ターゲットポンプ内部に反応ガスを順次吸入し、前記排出マニホールドを通じて該反応ガスを順次排出することによって、前記ターゲットポンプ内部は順次自己飽和表面反応に曝される。本発明のある技術的効果は、コンフォーマル保護コーティングによってポンプ内部を保護することである。このポンプ内部は組立ポンプの内部でもよい。【選択図】図１ |
