发明名称 |
Spiegel, insbesondere für eine Projektionsoptik |
摘要 |
Die Erfindung betrifft einen Spiegel, insbesondere für eine Projektionsoptik, mit einem Spiegelsubstrat (100, 200), einem Reflexionsschichtsystem (120, 220), und einer Absorptionsschicht (130, 210), wobei diese Absorptionsschicht für elektromagnetische Strahlung, welche in einem Teilbereich der optischen Wirkfläche auftrifft, der kleiner als die gesamte optische Wirkfläche ist, eine Absorption bis auf einen Restanteil von maximal 5% bewirkt. |
申请公布号 |
DE102016217694(A1) |
申请公布日期 |
2016.11.10 |
申请号 |
DE201610217694 |
申请日期 |
2016.09.15 |
申请人 |
Carl Zeiss SMT GmbH |
发明人 |
Hild, Kerstin;Six, Stephan;Winter, Ralf;Schüle, Moritz;Dier, Oliver;Weber, Jörn;Grasse, Christian;Rennon, Siegfried;Reischle, Matthias;Kierey, Holger;Meier, Uwe;Meier, Robert;Erxmeyer, Jeffrey |
分类号 |
G02B5/08;G02B1/10;G03F7/20 |
主分类号 |
G02B5/08 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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