发明名称 介质膜构成体和利用该介质膜构成体的压电致动器及油墨喷头
摘要 一种介质膜构成体,具有基板和在该基板上设置的介质膜,其特征在于,介质膜相对于该基板具有(00l)面取向性,其中,该介质膜由下述式(1)表示,u为大于2的实数:u=(C<SUB>c</SUB>/C<SUB>a</SUB>)×(W<SUB>a</SUB>/W<SUB>c</SUB>)……(1)。在上述式(1)中,C<SUB>c</SUB>是面外X射线衍射测定的介质膜的(00l′)面的峰值的计数(在此,1′为C<SUB>c</SUB>最大值时选定的自然数。);C<SUB>a</SUB>是面内X射线衍射测定的介质膜的(h′00)面的峰值的计数(在此h′为C<SUB>c</SUB>最大值时选定的自然数。);W<SUB>c</SUB>是面外波动曲线X射线衍射测定的介质膜的(00l′)面的峰值的半值宽度;W<SUB>a</SUB>是面内波动曲线X射线衍谢测定的介质膜的(h′00)面的峰值的半值宽度。)
申请公布号 CN1530231A 申请公布日期 2004.09.22
申请号 CN200410038765.0 申请日期 2004.02.06
申请人 佳能株式会社 发明人 青砥宽;武田宪一;福井哲朗;伊福俊博
分类号 B41J2/14;B41J2/16;H01L41/00 主分类号 B41J2/14
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人 李德山
主权项 1、一种介质膜构成体,具有基板和设置在该基板上的介质膜,其特征在于:介质膜具有相对于该基板的(00l)面取向性,并且该介质膜由下列式(1)表示,其中u为大于2的实数:u=(Cc/Ca)×(Wa/Wc) ...... (1)在上述式(1)中,Cc是面外X射线衍射测定的介质膜的(00l’)面的峰值的计数,在此,l’为使Cc为最大值时选定的自然数;Ca是面内X射线衍射测定的介质膜的(h’00)面的峰值的计数,在此h’为使Cc为最大值时选定的自然数;Wc是面外波动曲线X射线衍射测定的介质膜的(00l’)面的峰值的半值宽度;Wa是面内波动曲线X射线衍射测定的介质膜的(h’00)面的峰值的半值宽度。
地址 日本东京