适合于酸生成剂的盐和含有该盐的化学放大型抗蚀剂组合物

摘要

本发明提供一种式(I)的盐，其中环X表示含有三环或更多环并且含有10至30个碳原子的多环烃基，并且环X中的一个或多个氢原子任选被含有1至6个碳原子的烷基、含有1至6个碳原子的烷氧基、含有1至4个碳原子的全氟烷基或氰基取代；Q¹和Q²各自独立地表示氟原子或者含有1至6个碳原子的全氟烷基；n表示1至12的整数；并且A⁺表示选自由上式(IIa)、(IIb)和(IIc)的阳离子组成的组中的阳离子。本发明还提供一种包含所述式(I)的盐的化学放大型抗蚀剂组合物。

主权项

1.一种式(I)的盐：其中环X表示含有三环或更多环并且含有10至30个碳原子的多环烃基，并且环X中的一个或多个氢原子任选被含有1至6个碳原子的烷基、含有1至6个碳原子的烷氧基、含有1至4个碳原子的全氟烷基或氰基取代；Q¹和Q²各自独立地表示氟原子或者含有1至6个碳原子的全氟烷基；n表示1至12的整数；并且A⁺表示选自由下列式(IIa)、(IIb)和(IIc)的阳离子组成的组中的阳离子：式(IIa)的阳离子：其中P¹和P²各自独立地表示氢原子、羟基、含有1至12个碳原子的烷基或者含有1至12个碳原子的烷氧基，式(IIb)的阳离子：其中P³和P⁴各自独立地表示含有1至12个碳原子的烷基或者含有3至12个碳原子的环烷基，或者P³和P⁴结合形成含有3至12个碳原子的二价无环烃基，该二价无环烃基与相邻的S⁺一起形成环，并且所述二价无环烃基中的一个或多个-CH₂-任选被-CO-、-O-或-S-取代，P⁵表示氢原子，P⁶表示任选取代的含有1至12个碳原子的烷基、含有3至12个碳原子的环烷基或者芳环基，或者P⁵和P⁶结合形成二价无环烃基，该二价无环烃基与相邻的-CHCO-一起形成2-氧代环烷基，并且所述二价无环烃基中的一个或多个-CH₂-任选被-CO-、-O-或-S-取代，式(IIc)的阳离子：其中P⁷、P⁸、P⁹、P¹⁰、P¹¹、P¹²、P¹³、P¹⁴、P¹⁵、P¹⁶、P¹⁷和P¹⁸各自独立地表示氢原子、羟基、含有1至12个碳原子的烷基或含有1至12个碳原子的烷氧基，B表示硫原子或氧原子，并且m表示0或1。