发明名称 |
一种可反应性树脂及其光成像组合物 |
摘要 |
本发明公开了一种可反应性树脂及其光成像组合物,可反应性树脂由环氧树脂改性超支化聚酯制备,光成像组合物包含该可反应性树脂、单官能和多官能(甲基)丙烯酸酯、光引发剂以及助剂,光成像组合物光固化后对玻璃、硅晶片、金属基材有优异的附着力,特别适合用光成像、强酸刻蚀方法在这些基材上加工制作微细结构,如微器件、微光学元件等。本发明还公布了与光成像组合物配合使用,对玻璃,硅晶片、金属基材等进行深度刻蚀的化学刻蚀剂。 |
申请公布号 |
CN101024683A |
申请公布日期 |
2007.08.29 |
申请号 |
CN200610020314.3 |
申请日期 |
2006.02.20 |
申请人 |
四川大学 |
发明人 |
王跃川;巫文强 |
分类号 |
C08G63/91(2006.01);G03F7/004(2006.01) |
主分类号 |
C08G63/91(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
1.一种可反应性树脂,含有羧基和羟基官能团,羧基浓度0.2~2.0mmol/g,相对于聚苯乙烯标样的重均分子量(GPC法)在700~8000g/mol,含有20%~50%的有机溶剂。 |
地址 |
610065四川省成都市一环路南一段24号 |