发明名称 一种可反应性树脂及其光成像组合物
摘要 本发明公开了一种可反应性树脂及其光成像组合物,可反应性树脂由环氧树脂改性超支化聚酯制备,光成像组合物包含该可反应性树脂、单官能和多官能(甲基)丙烯酸酯、光引发剂以及助剂,光成像组合物光固化后对玻璃、硅晶片、金属基材有优异的附着力,特别适合用光成像、强酸刻蚀方法在这些基材上加工制作微细结构,如微器件、微光学元件等。本发明还公布了与光成像组合物配合使用,对玻璃,硅晶片、金属基材等进行深度刻蚀的化学刻蚀剂。
申请公布号 CN101024683A 申请公布日期 2007.08.29
申请号 CN200610020314.3 申请日期 2006.02.20
申请人 四川大学 发明人 王跃川;巫文强
分类号 C08G63/91(2006.01);G03F7/004(2006.01) 主分类号 C08G63/91(2006.01)
代理机构 代理人
主权项 1.一种可反应性树脂,含有羧基和羟基官能团,羧基浓度0.2~2.0mmol/g,相对于聚苯乙烯标样的重均分子量(GPC法)在700~8000g/mol,含有20%~50%的有机溶剂。
地址 610065四川省成都市一环路南一段24号