由介质棒引导的微波等离子体内壁处理机

摘要

本实用新型属于低温等离子体技术领域，具体为一种由基于介质棒引导的微波等离子体用于工件内壁处理机。该处理机采用介质棒引导微波激发和电离介质棒表面的工作气体从而产生等离子体，对套在介质棒外面的工作器件内壁进行加工处理。该装置至少包含：一个由真空泵操纵的能使真空室形成真空的真空系统，一个可以产生微波并用介质棒引导微波到真空室的微波系统，一个可以提供加工所需要的工作气体的气瓶并与其相联通的管道的气体注入系统。由本装置实现的等离子体制备，设备简单，成本适中，能够很好地解决目前存在的一些工作器件内壁加工处理比较困难的局面，比如工件内壁的表面强化，镀膜，溅射，喷涂，消毒等。

主权项

1.一种由介质棒引导的微波等离子体内壁处理机，其特征在于，至少包含如下结构单元：一个由真空泵操纵的从而可造成真空室(1)真空的真空系统；一个能够提供微波并由介质棒(2)引导微波到真空室(1)从而在介质棒(2)的表面产生等离子体的微波系统；一个能够提供工作气体的气瓶(14、15)并与其相联通的管道的气体注入系统。