发明名称 制造图像传感器的方法
摘要 本发明提供了一种制造图像传感器的方法,该图像传感器能够使聚光效率最大化,使得通过微透镜而输入的光被汇聚到光接收元件上。根据本发明,用微透镜或U形氮化膜来使通过微透镜而输入的光的聚光效率最大化。因此,可以改善图像传感器中汇聚到光接收元件上的光的聚光效率。
申请公布号 CN101379616A 申请公布日期 2009.03.04
申请号 CN200780005056.4 申请日期 2007.02.07
申请人 (株)赛丽康 发明人 李道永
分类号 H01L27/146(2006.01) 主分类号 H01L27/146(2006.01)
代理机构 北京中海智圣知识产权代理有限公司 代理人 曾永珠
主权项 1.一种制造图像传感器的方法,其包括:(a)在衬底上形成金属布线层;(b)在所述金属布线层上形成内部微透镜;(c)在所述内部微透镜上形成介电层;以及(d)在所述介电层上形成彩色滤光器阵列、保护涂层、以及微透镜。
地址 韩国首尔