发明名称 | 制造图像传感器的方法 | ||
摘要 | 本发明提供了一种制造图像传感器的方法,该图像传感器能够使聚光效率最大化,使得通过微透镜而输入的光被汇聚到光接收元件上。根据本发明,用微透镜或U形氮化膜来使通过微透镜而输入的光的聚光效率最大化。因此,可以改善图像传感器中汇聚到光接收元件上的光的聚光效率。 | ||
申请公布号 | CN101379616A | 申请公布日期 | 2009.03.04 |
申请号 | CN200780005056.4 | 申请日期 | 2007.02.07 |
申请人 | (株)赛丽康 | 发明人 | 李道永 |
分类号 | H01L27/146(2006.01) | 主分类号 | H01L27/146(2006.01) |
代理机构 | 北京中海智圣知识产权代理有限公司 | 代理人 | 曾永珠 |
主权项 | 1.一种制造图像传感器的方法,其包括:(a)在衬底上形成金属布线层;(b)在所述金属布线层上形成内部微透镜;(c)在所述内部微透镜上形成介电层;以及(d)在所述介电层上形成彩色滤光器阵列、保护涂层、以及微透镜。 | ||
地址 | 韩国首尔 |