Bauelement für elastische Wellen, elektronische Komponente und Verfahren zur Herstellung eines Bauelements für elastische Wellen

摘要

Ein Bauelement für elastische Wellen (1) enthält ein piezoelektrisches Substrat (10), eine IDT-Elektrode (11), Verdrahtung (14), Kontaktinseln (20), eine Lötmetallisierung (18), eine erste dielektrische Schicht (15) und eine zweite dielektrische Schicht (16). Mindestens ein Teil der IDT-Elektrode (11) wird aus einem ersten elektrisch leitfähigen Film (41) gebildet, wobei mindestens ein Teil der Verdrahtung (14) aus einem mehrschichtigen Korpus gebildet wird, der den ersten elektrisch leitfähigen Film (41) und einen zweiten elektrisch leitfähigen Film (42) enthält, und wobei mindestens ein Teil der Kontaktinsel (20) aus dem zweiten elektrisch leitfähigen Film (42) gebildet wird. Die zweite dielektrische Schicht (16) wird dergestalt angeordnet, dass sie die Region (NC) mit Ausnahme der Kontaktregion (C) zwischen dem zweiten elektrisch leitfähigen Film (42) und der Lötmetallisierung (18) bedeckt. Folglich wird der zweite elektrisch leitfähige Film (42) mit der zweiten dielektrischen Schicht (16) und der Lötmetallisierung (18) bedeckt und wird nicht der Luft ausgesetzt.