带电粒子束系统和操作等离子源的方法

摘要

本发明涉及用于聚焦射束系统的电感耦合等离子体离子源。一种用于聚焦带电粒子束系统的电感耦合等离子体源包括等离子体室内的导电屏蔽以便减少到等离子体的电容耦合。内部导电屏蔽被偏置电极或被等离子体被保持在与等离子体源基本上相同的电位。内部屏蔽允许等离子体室的外部上的更多种冷却方法。

主权项

一种带电粒子束系统，其包括；等离子体源，其包括；用于包含等离子体的等离子体室；导体，其用于向等离子体室中提供射频能量；以及导电屏蔽，其用于减少提供射频能量的导体与等离子体之间的电容耦合，其中，离子的能量发散被保持在小于40eV；以及一个或多个聚焦透镜，其用于使来自等离子体源的离子聚焦到所述等离子体室外部的样本上。