发明名称 |
垂直腔面发射激光器列阵的并行光发射模块及制作方法 |
摘要 |
本发明一种垂直腔面发射激光器列阵的并行光发射模块,其中包括:一高频印制电路板,在该高频印制电路板的一端形成有一信号输入端口,该信号输入端口采用镀金的插板结构;一垂直腔面发射激光器列阵,该垂直腔面发射激光器列阵以裸片的形式直接集成在一硅片底座上,再用粘接的方式粘接在高频印制电路板上面;一驱动电路芯片,该驱动电路芯片以裸片的形式直接集成在高频印制电路板上面;该垂直腔面发射激光器列阵与驱动电路芯片用金丝连接,该驱动电路芯片与高频印制电路板用金丝连接,构成并行光发射模块。 |
申请公布号 |
CN1530681A |
申请公布日期 |
2004.09.22 |
申请号 |
CN03120596.8 |
申请日期 |
2003.03.14 |
申请人 |
中国科学院半导体研究所 |
发明人 |
陈弘达;申荣铉;毛陆虹;唐君;裴为华;高鹏;崔增文 |
分类号 |
G02B6/42;G02B6/12;H01S3/00;H04B10/12 |
主分类号 |
G02B6/42 |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 |
代理人 |
汤保平 |
主权项 |
1、一种垂直腔面发射激光器列阵的并行光发射模块,其特征在于,其中包括:一高频印制电路板,在该高频印制电路板的一端形成有一信号输入端口,该信号输入端口采用镀金的插板结构;一垂直腔面发射激光器列阵,该垂直腔面发射激光器列阵以裸片的形式直接集成在一硅片底座上,再用粘接的方式粘接在高频印制电路板上面;一驱动电路芯片,该驱动电路芯片以裸片的形式直接集成在高频印制电路板上面;该垂直腔面发射激光器列阵与驱动电路芯片用金丝连接,该驱动电路芯片与高频印制电路板用金丝连接,构成并行光发射模块。 |
地址 |
100083北京市海淀区清华东路甲35号 |