发明名称 垂直腔面发射激光器列阵的并行光发射模块及制作方法
摘要 本发明一种垂直腔面发射激光器列阵的并行光发射模块,其中包括:一高频印制电路板,在该高频印制电路板的一端形成有一信号输入端口,该信号输入端口采用镀金的插板结构;一垂直腔面发射激光器列阵,该垂直腔面发射激光器列阵以裸片的形式直接集成在一硅片底座上,再用粘接的方式粘接在高频印制电路板上面;一驱动电路芯片,该驱动电路芯片以裸片的形式直接集成在高频印制电路板上面;该垂直腔面发射激光器列阵与驱动电路芯片用金丝连接,该驱动电路芯片与高频印制电路板用金丝连接,构成并行光发射模块。
申请公布号 CN1530681A 申请公布日期 2004.09.22
申请号 CN03120596.8 申请日期 2003.03.14
申请人 中国科学院半导体研究所 发明人 陈弘达;申荣铉;毛陆虹;唐君;裴为华;高鹏;崔增文
分类号 G02B6/42;G02B6/12;H01S3/00;H04B10/12 主分类号 G02B6/42
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 代理人 汤保平
主权项 1、一种垂直腔面发射激光器列阵的并行光发射模块,其特征在于,其中包括:一高频印制电路板,在该高频印制电路板的一端形成有一信号输入端口,该信号输入端口采用镀金的插板结构;一垂直腔面发射激光器列阵,该垂直腔面发射激光器列阵以裸片的形式直接集成在一硅片底座上,再用粘接的方式粘接在高频印制电路板上面;一驱动电路芯片,该驱动电路芯片以裸片的形式直接集成在高频印制电路板上面;该垂直腔面发射激光器列阵与驱动电路芯片用金丝连接,该驱动电路芯片与高频印制电路板用金丝连接,构成并行光发射模块。
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