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发明名称 Method and apparatus for determining a process model for integrated circuit fabrication
摘要
申请公布号 EP1862857(A3) 申请公布日期 2007.12.12
申请号 EP20070252184 申请日期 2007.05.29
申请人 SYNOPSYS, INC. 发明人 HUANG, JENSHENG;KUO, CHUN-CHIEH;MELVI III, LAWRENCE S.
分类号 G03F7/20 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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