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发明名称 METAL CARBIDE GATE STRUCTURE AND METHOD OF FABRICATION
摘要
申请公布号 EP1687457(A4) 申请公布日期 2009.06.17
申请号 EP20040812387 申请日期 2004.11.29
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 CABRAL, CYRIL, JR.;DETAVERNIER, CHRISTOPHER;JAMMY, RAJARAO;SAENGER, KATHERINE, L.
分类号 H01L21/8238;C23C14/06;C23C16/32;H01L27/108;H01L29/49 主分类号 H01L21/8238
代理机构 代理人
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