| 摘要 |
高い耐熱性、耐薬品性、及び耐擦傷性を与えるためにＴＣＯ層（例えばドープト酸化亜鉛）上を覆うキャップとして使用することができる窒素含有ＴＣＯ（透明導電性酸化物）キャップ組成物又は層。それはまた、得られるスタックの表面平滑度を向上させるために使用することもできる。窒素含有ＴＣＯキャップ組成物又は層は、ＴＣＯ層上に堆積させることができ、それは化学気相成長法を使用してガラスなどの透明基板上に堆積される。この窒素含有ＴＣＯキャップ組成物又は層は、少なくとも２種類の異なる金属元素と、酸素及び窒素とからなり、それら金属元素のうちの１種類は、Ｉｉａ族元素（すなわち、Ｂ、Ａｌ、Ｇａ、Ｉｎ、Ｔｌ、Ｕｕｔ）である。 |
