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发明名称 PRODUCTION METHOD OF GROUP ? NITRIDE SEMICONDUCTOR CRYSTAL
摘要
申请公布号 KR100659520(B1) 申请公布日期 2006.12.20
申请号 KR20047012652 申请日期 2003.02.14
申请人 发明人
分类号 C30B29/38;H01L33/00;C23C16/34;H01L21/20;H01L21/205;H01L33/12;H01L33/32;H01S5/30;H01S5/323;H01S5/343 主分类号 C30B29/38
代理机构 代理人
主权项
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