工件的两面研磨装置

摘要

本发明的工件的两面研磨装置具备具有上平台以及下平台的旋转平台、恒星齿轮、内部齿轮、以及设有保持工件的1个以上的保持孔的承载片，在所述上平台的下表面以及所述下平台的上表面分别贴附有研磨垫，其特征在于，所述上平台或所述下平台具有从该上平台或该下平台的上表面贯穿到下表面的1个以上的孔，所述研磨垫在与所述孔对应的位置设有洞，还具备工件厚度测量器，该工件厚度测量器能够在所述工件的两面研磨中从所述1个以上的孔以及洞实时地测量所述工件的厚度，在由所述孔区划的所述上平台的侧壁的底部，或由所述孔区划的所述下平台的侧壁的顶部设有凹部，在所述凹部，配置直径比所述孔的直径以及所述洞的直径大的窗材料，所述窗材料经由粘结层粘着于由设于所述上平台的所述凹部区划的上侧面或由设于所述下平台的所述凹部区划的下侧面。

主权项

一种工件的两面研磨装置，其具备：具有上平台以及下平台的旋转平台；在所述旋转平台的中心部设置的恒星齿轮；在所述旋转平台的外周部设置的内部齿轮；以及设于所述上平台与所述下平台之间，且设有保持工件的1个以上的保持孔的承载片，在所述上平台的下表面以及所述下平台的上表面分别贴附有研磨垫，其特征在于，所述上平台或所述下平台具有从该上平台或该下平台的上表面贯穿到下平台的1个以上的孔，所述研磨垫在与所述孔对应的位置设有洞，还具备工件厚度测量器，所述工件厚度测量器能够在所述工件的两面研磨中从所述1个以上的孔以及洞实时地测量所述工件的厚度，在由所述孔区划的所述上平台的侧壁的底部，或由所述孔区划的所述下平台的侧壁的顶部设有凹部，在所述凹部配置直径比所述孔的直径以及所述洞的直径大的窗材料，所述窗材料经由粘结层粘着于由设于所述上平台的所述凹部区划的上侧面或由设于所述下平台的所述凹部区划的下侧面。