发明名称 RASTERSONDENMIKROSKOP MIT DETEKTORSONDE
摘要
申请公布号 DE59410139(D1) 申请公布日期 2002.07.18
申请号 DE1994510139 申请日期 1994.12.20
申请人 FORSCHUNGSZENTRUM JUELICH GMBH 发明人 SAURENBACH, FRANK;FUSS, HANS-ACHIM
分类号 G01B21/30;G01B7/34;G01B9/02;G01D3/028;G01N21/45;G01N27/00;G01Q20/02;G01Q30/02;G01Q70/02;G01Q70/04;G02B21/00;(IPC1-7):G01B7/34 主分类号 G01B21/30
代理机构 代理人
主权项
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