连续处理装置和连续处理方法

摘要

本发明提供一种连续处理装置，对被处理体(14)的处理对象面(17)连续实施多种处理，包括：保持被处理体(14)并沿着输送方向(T)输送被处理体(14)的被处理体输送部(20)、排列配置在沿被处理体(14)的输送方向(T)并在大气压或大气压附近压力下对被处理体(14)依次实施分别不同的处理的多种处理单元(51、52、53、54、55、56、57)，多种处理单元的种类，可以自由进行组合的变更或者追加。这样，可以对被处理体的处理对象面连续、有效实施多种处理，变更或追加多种处理的组合，顺利进行连续处理。本发明也同时提供一种连续处理方法。

主权项

1、一种连续处理装置，用于对被处理体的处理对象面连续实施多种处理，其特征在于，包括：被处理体输送部，用于保持所述被处理体并将所述被处理体沿输送方向输送；和多种处理单元，沿所述被处理体的所述输送方向排列配置，并在大气压或大气压附近的压力下对所述被处理体的所述处理对象面依次分别实施不同的处理；所述多种处理单元的种类可以自由变更以及追加组合。