隔振地基精密调平系统

摘要

本发明公开了一种隔振地基精密调平系统。隔振地基下底面由空气弹簧支撑，精密光学隔振平台放置于隔振地基上，精密光学隔振平台上放置一个或两个用以测量两互相垂直方向上隔振平台与绝对水平面夹角的水平监测器，虚腿监测装置分别与各自的空气弹簧相连接，水平监测器和虚腿监测装置的输出端分别与控制器的输入端连接，控制器的输出端与各个控制阀连接，每个控制阀的气路接口分别与各自的空气弹簧相连，供气装置分别对每个控制阀供气。本发明实现二级隔振，隔振平台具有高精度平面度，满足各种精密仪器对环境的要求；控制阀实现空气弹簧充气过程中的微量进气，提高调平精度，并能维持系统稳定。它适用于超精密测量、超精密加工。

主权项

1、一种隔振地基精密调平系统，其特征在于：包括隔振地基、精密光学隔振平台、空气弹簧、供气装置、水平监测器、虚腿监测装置、控制器和控制阀；隔振地基下底面由4、6或8个空气弹簧支撑，精密光学隔振平台放置于隔振地基上，精密光学隔振平台上放置一个或两个用以测量两互相垂直方向上隔振平台与绝对水平面夹角的水平监测器，虚腿监测装置分别与各自的空气弹簧相连接，水平监测器和虚腿监测装置的输出端分别与控制器的输入端连接，控制器的输出端与各个控制阀连接，每个控制阀的气路接口分别与各自的空气弹簧相连，供气装置分别对每个控制阀供气，控制阀的阀门开口大小可调节。