发明名称 砷化镓基1.5微米量子阱结构及其外延生长方法
摘要 一种砷化镓基1.5微米量子阱结构,该结构为多层结构,其特征在于,包括:一GaAs过渡层;一第一GaAs势垒层,该第一GaAs势垒层制作在GaAs过渡层上;一第一GaNAs势垒层,该第一GaNAs势垒层制作在第一GaAs势垒层上;一GaInNAsSb量子阱层,该GaInNAsSb量子阱层制作在第一GaNAs势垒层上;一第二GaNAs势垒层,该第二GaNAs势垒层制作在GaInNAsSb量子阱层上;一第二GaAs势垒层,该第二GaAs势垒层制作在第二GaNAs势垒层上;一GaAs覆盖层,该GaAs覆盖层制作在第二GaAs势垒层上。
申请公布号 CN100382347C 申请公布日期 2008.04.16
申请号 CN200510086639.7 申请日期 2005.10.20
申请人 中国科学院半导体研究所 发明人 牛智川;倪海桥;韩勤;张石勇;吴东海;赵欢;杨晓红;彭红玲;周志强;熊永华;吴荣汉
分类号 H01L33/00(2006.01);H01S5/343(2006.01) 主分类号 H01L33/00(2006.01)
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 代理人 汤保平
主权项 1.一种砷化镓基1.5微米量子阱结构,该结构为多层结构,其特征在于,包括:一GaAs过渡层;一第一GaAs势垒层,该第一GaAs势垒层制作在GaAs过渡层上;一第一GaNAs势垒层,该第一GaNAs势垒层制作在第一GaAs势垒层上;一GaInNAsSb量子阱层,该GaInNAsSb量子阱层制作在第一GaNAs势垒层上;一第二GaNAs势垒层,该第二GaNAs势垒层制作在GaInNAsSb量子阱层上;一第二GaAs势垒层,该第二GaAs势垒层制作在第二GaNAs势垒层上;一GaAs覆盖层,该GaAs覆盖层制作在第二GaAs势垒层上。
地址 100083北京市海淀区清华东路甲35号