发明名称 |
砷化镓基1.5微米量子阱结构及其外延生长方法 |
摘要 |
一种砷化镓基1.5微米量子阱结构,该结构为多层结构,其特征在于,包括:一GaAs过渡层;一第一GaAs势垒层,该第一GaAs势垒层制作在GaAs过渡层上;一第一GaNAs势垒层,该第一GaNAs势垒层制作在第一GaAs势垒层上;一GaInNAsSb量子阱层,该GaInNAsSb量子阱层制作在第一GaNAs势垒层上;一第二GaNAs势垒层,该第二GaNAs势垒层制作在GaInNAsSb量子阱层上;一第二GaAs势垒层,该第二GaAs势垒层制作在第二GaNAs势垒层上;一GaAs覆盖层,该GaAs覆盖层制作在第二GaAs势垒层上。 |
申请公布号 |
CN100382347C |
申请公布日期 |
2008.04.16 |
申请号 |
CN200510086639.7 |
申请日期 |
2005.10.20 |
申请人 |
中国科学院半导体研究所 |
发明人 |
牛智川;倪海桥;韩勤;张石勇;吴东海;赵欢;杨晓红;彭红玲;周志强;熊永华;吴荣汉 |
分类号 |
H01L33/00(2006.01);H01S5/343(2006.01) |
主分类号 |
H01L33/00(2006.01) |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 |
代理人 |
汤保平 |
主权项 |
1.一种砷化镓基1.5微米量子阱结构,该结构为多层结构,其特征在于,包括:一GaAs过渡层;一第一GaAs势垒层,该第一GaAs势垒层制作在GaAs过渡层上;一第一GaNAs势垒层,该第一GaNAs势垒层制作在第一GaAs势垒层上;一GaInNAsSb量子阱层,该GaInNAsSb量子阱层制作在第一GaNAs势垒层上;一第二GaNAs势垒层,该第二GaNAs势垒层制作在GaInNAsSb量子阱层上;一第二GaAs势垒层,该第二GaAs势垒层制作在第二GaNAs势垒层上;一GaAs覆盖层,该GaAs覆盖层制作在第二GaAs势垒层上。 |
地址 |
100083北京市海淀区清华东路甲35号 |