发明名称 一种高量程压阻加速度传感器共振频率的测试方法
摘要 本发明涉及一种高量程压阻加速度器共振频率的测试方法,特征在于利用金属端面之间碰撞产生较高的加速度和频率成份分布丰富的波作为激励源,当激励源中某些频率的波与高量程压阻加速度传感器的固有模态的频率等于或者接近时,器件高量程压阻加速度传感器发生共振,利用共振激发的方式以获得高量程压阻加速度传感器的共振频率:具体是高量程加速度传感器器件的管脚输出与放大器连接,从放大器输出的信号通过电缆线连接到计算机的输入端,记录金属端面之间碰撞过程产生应变波,从对应变波的时域或频域的分析测出共振频率是一种简单、经济、快速的测试方法。
申请公布号 CN101354284A 申请公布日期 2009.01.28
申请号 CN200810200112.6 申请日期 2008.09.19
申请人 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 发明人 鲍海飞;宋朝辉;李昕欣;姜伟
分类号 G01H13/00(2006.01) 主分类号 G01H13/00(2006.01)
代理机构 上海智信专利代理有限公司 代理人 潘振甦
主权项 1、一种高量程压阻加速度器共振频率的测试方法,其特征在于利用金属端面之间碰撞产生较高的加速度和频率成份分布丰富的波作为激励源,当激励源中某些频率的波与高量程压阻加速度传感器的固有模态的频率等于或者接近时,器件高量程压阻加速度传感器发生共振,利用共振激发的方式以获得高量程压阻加速度传感器的共振频率:具体是高量程加速度传感器器件的管脚输出与放大器连接,从放大器输出的信号通过电缆线连接到计算机的输入端,记录金属端面之间碰撞过程产生应变波,从对应变波的分析测出共振频率。
地址 200050上海市长宁区长宁路865号