| 摘要 |
Le procédé permet l'étude d'une zone (Z1) d'un objet (2), ladite zone (Z1) présentant une épaisseur massique et comportant au moins un élément chimique. Le procédé d'étude comporte :
- une étape d'exposition (E1) d'une partie de la zone (Z1) de l'objet (2) à un faisceau d'électrons (1),
- une étape d'identification (E2) de chaque élément chimique présent dans ladite zone (Z1) grâce à l'étape d'exposition (E1),
- une étape de mesure (E3), pour chaque élément chimique identifié, d'une intensité correspondante d'un rayonnement X émergent de l'objet (2) du fait de ladite étape d'exposition (E1),
- une étape de détermination (E4) d'une valeur de ladite épaisseur massique fonction de chaque étape de mesure (E3),
- une étape de détermination (E5) d'une valeur de la concentration de chaque élément chimique identifié utilisant ladite valeur de l'épaisseur massique déterminée
- un cycle itératif d'étapes de correction (E7) considérant un terme de correction de l'angle d'incidence, un terme de correction du numéro atomique et une correction d'épaisseur massique. |
