透明等离子体坩埚

摘要

为了在2450MHz下操作在TM010模式中，透明石英坩埚的直径为4.9cm，长度为2.1cm。密封的等离子体中空位于中心轴上，天线凹入型件位于中心轴的一端，但是偏离于坩埚的中心轴并靠近中心的中空。各种TE模式也是可以的。

主权项

一种由微波能量供能的光源，该光源具有：固态等离子体坩埚，其材料是透明的，用于使光从中离开，该等离子体坩埚具有在该等离子体坩埚中的密封中空，围绕该等离子体坩埚的法拉第罩，该罩至少部分透光，用于使光从该等离子体坩埚离开，同时该法拉第罩是微波封闭的，在所述中空中的可由微波能量激发的材料的填充物，用于在其中形成发光等离子体，和布置在等离子体坩埚中的天线，用于将诱导等离子体的微波能量传输到填充物，该天线具有：延伸到等离子体坩埚外部的连接部，用于耦合至微波能量源；该光源的特征在于：该透明等离子体坩埚的尺寸被设为具有低阶横电微波模式特性或低阶横磁微波模式特性；该透明等离子体坩埚为圆柱状透明坩埚，且其中该透明等离子体坩埚的尺寸被设为，直径d、长度l和操作频率f落入下列范围内—d和l以cm表示，f以MHz表示：直径除以长度的平方‑(d/1)²‑在0至100之间以及直径乘以频率的平方‑(d×f)²‑在0至2×10⁹之间。