包括用于操纵一条或多条带电粒子束的操纵器装置的带电粒子系统

摘要

本发明涉及一种带电粒子系统，例如，多束光刻系统，该带电粒子系统包括用于操纵一条或多条带电粒子束的操纵器装置，其中，操纵器装置在平面基板的平面中包括至少一个通孔，用于使至少一条带电粒子束从中穿过。每个通孔都被设置有电极，所述电极按照沿着所述通孔的周边的第一部分的第一组多个第一电极和沿着所述周边的第二部分的第二组多个第一电极布置。电子控制电路被布置用于根据沿着通孔的周边的第一和第二电极的位置向这些电极提供电压差。

主权项

一种多束带电粒子光刻系统，包括用于操纵多条带电粒子束的操纵器装置(201)，其中，所述操纵器装置包括：平面基板(202)，包括操纵器(206)的阵列，每一个所述操纵器在该平面基板的平面中包括通孔(203)，其中，每个通孔被布置为用于使至少一条带电粒子束从中穿过，并且每个通孔都设置有围绕所述通孔布置的16到32个电极(204)，所述电极(204)被布置成沿着所述通孔的周边的第一部分的第一组多个第一电极和沿着所述周边的第二部分的第二组多个第二电极；以及电子控制电路，与所述平面基板集成并且被布置用于根据沿着通孔的周边的第一电极和第二电极的位置来向沿着通孔的周边布置的电极对提供电压差，以便提供跨所述通孔均匀的电场，其中每一电极对由所述第一组中的一第一电极和所述第二组中的一第二电极组成。