| 发明名称 |
Apparatus for treatment of a substrate |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0811703(B1) |
申请公布日期 |
2002.09.25 |
| 申请号 |
EP19970108818 |
申请日期 |
1997.06.02 |
| 申请人 |
INFINEON TECHNOLOGIES AG |
发明人 |
RUPP, ROLAND, DR.;VOELKL, JOHANNES |
| 分类号 |
C23C16/44;C23C16/458;C23C16/46;C30B25/10;C30B25/12;C30B29/36;C30B29/38;H01L21/205;(IPC1-7):C23C16/50 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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