| 摘要 |
一种晶圆研磨液喷流搅拌之改进结构，系对晶圆研磨原液加水搅拌成供应研磨晶圆用之预定稀释晶圆研磨液过程前管路之储存槽，此储存槽底所设之喷流搅拌机制进行结构改进，使喷流搅拌机制之动力泵不直接叠接分水盘，再由分水盘塞封储存槽底透孔，而系使动力泵出入口分别接管连通分水盘对应端，再由分水盘塞封该槽底透孔，且于动力泵入口通往分水盘之接管临近中段位置，设置维修控制阀，并于动力泵出口叉分通往分水盘之接管临近中段位置，设置回流搅拌控制阀，使动力泵外挂横伸出该槽底外围，由此构成，维持先前喷流搅拌机制加快搅拌、减少沉积，混合效果优之成效外，于该槽漏液时，漏液不会滴到动力泵主件造成异常，且无需拆除该槽体即可便利地拆管维修，还能运用回流搅拌控制阀将液体供应完全，不易残留液体者。 |
