发光二极体磊晶结构及其制造方法

摘要

一种发光二极体磊晶结构，包括一矽基板及一半导体结构层，该矽基板上形成有一图案化的介质层及阻隔层，该半导体结构层与基板之间形成有多个分离的孔隙。本发明的磊晶结构由于在半导体结构层与基板之间形成有多个孔隙，二者之间由于热膨胀系数差异而导致残留的应力可被有效地缓解，从而确保磊晶结构的良品率。本发明还提供有一种制造磊晶结构的方法。