发明名称 |
一种扫描近场光学显微镜装置及新型光纤探针结构 |
摘要 |
本发明涉及近场光学探测的光学传感和成像技术领域,公开了一种扫描近场光学显微镜装置及新型光纤探针结构,包括:光学照明系统(1)、探针扫描控制系统(2)、检测系统(3)和光纤探针(4),所述光纤探针(4)的端面设有金属膜及金属颗粒,所述金属颗粒加工在所述光纤探针(4)的端面的金属膜上。本发明提供的一种扫描近场光学显微镜装置及光纤探针结构,解决了传统孔径型SNOM对光场横向分量敏感而不能对光场纵向分量进行有效检测的缺陷,保持所测样品信息的完整性,提高了信号收集效率。 |
申请公布号 |
CN106199077A |
申请公布日期 |
2016.12.07 |
申请号 |
CN201610534536.0 |
申请日期 |
2016.07.08 |
申请人 |
深圳大学 |
发明人 |
杜路平;杨爱萍;袁小聪 |
分类号 |
G01Q60/18(2010.01)I;G01Q60/22(2010.01)I |
主分类号 |
G01Q60/18(2010.01)I |
代理机构 |
广州高炬知识产权代理有限公司 44376 |
代理人 |
董博 |
主权项 |
一种扫描近场光学显微镜装置,其特征在于,包括:光学照明系统(1)、探针扫描控制系统(2)、检测系统(3)和光纤探针(4),其中,所述光学照明系统(1)包括:激发光源、第一分束器(5)、高数值孔径物镜(6)和扫描台(7);探针扫描控制系统(2)包括:反馈系统(8)、锁相放大系统(9)、计算机(10),所述反馈系统(8)用于控制连接的所述光纤探针(4),所述锁相放大系统(9)用于连接所述检测系统(3),所述计算机(10)控制连接所述反馈系统(8);检测系统(3)包括:光谱分析仪(11)、光电倍增管(12)、第二分束器(13)、CCD(14);所述第二分束器(13)连接所述的光谱分析仪(11)、光电倍增管(12);所述的光谱分析仪(11)连接所述CCD(14);所述的CCD(14)和光电倍增管(12)连接所述的计算机(10),所述光纤探针(4)的端面设有金属膜及金属颗粒,所述金属颗粒加工在所述光纤探针(4)的端面的金属膜上。 |
地址 |
518000 广东省深圳市南山区南海大道3688号 |