| 发明名称 |
Rasterelektronenmikroskop |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69624192(D1) |
申请公布日期 |
2002.11.14 |
| 申请号 |
DE19966024192 |
申请日期 |
1996.06.25 |
| 申请人 |
HITACHI, LTD. |
发明人 |
SATO, MITSUGU;HOYA, RYUJI;OSE, YOICHI |
| 分类号 |
H01J37/141;G01R31/305;H01J37/147;H01J37/153;H01J37/244;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/28;H01J37/04;H01J37/256;H01J37/26 |
主分类号 |
H01J37/141 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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