| 摘要 |
1. Аппарат для нанесения покрытия методом осаждения из паровой фазы, содержащий:первую конструкцию для перемещения подложки в первом направлении по первой воображаемой прямой линии через зону нанесения покрытия;устройство для нанесения покрытия, включающее в себя сопло для нанесения покрытия, предназначенное для направления образующих покрытие паров в зону нанесения покрытия, и отводящую щель для удаления паров из зоны нанесения покрытия, при этом сопло для нанесения покрытия и отводящая щель расположены на расстоянии друг от друга и каждый из них имеет продольную ось,вторую конструкцию для установки устройства для нанесения покрытия на расстоянии от линии перемещения подложки с обращенными к зоне нанесения покрытия соплом для нанесения покрытия и отводящей щелью, при этом вторая воображаемая прямая линия, проходящая перпендикулярно продольной оси сопла для нанесения покрытия и/или отводящей щели, образует с первой воображаемой прямой линией угол в диапазоне от больше 0° до 90°.2. Аппарат по п.1, в котором вторая воображаемая прямая линия перпендикулярна продольной оси сопла для нанесения покрытия, а угол находится в диапазоне 5-30°.3. Аппарат по п.1, в котором сопло для нанесения покрытия и отводящая щель имеют щелевое отверстие, а продольные оси сопла для нанесения покрытия и отводящей щели параллельны между собой.4. Аппарат по п.1, в котором отводящая щель является первой отводящей щелью, расположенной после сопла для нанесения покрытия по ходу перемещения подложки, и дополнительно имеется вторая отводящая щель, расположенная до сопла для нанесения покрытия по ходу перемещения подложки.5. Аппарат по п.4, в к� |
