薄膜晶体管印刷制程方法

摘要

本发明公开了一种薄膜晶体管印刷制程方法，步骤包括定义印刷图样于一晶种材料、光刻胶材料、固化材料，并进行浸置基板于溶液的化学无电电镀纳米金属方法，再将金属离子还原成并沉积金属材料，于基板上形成金属配线。利用印刷方式结合纳米金属材料制备薄膜晶体管(TFT)中低阻抗闸极(gate)金属薄膜与漏极(drain)、源极(source)电极薄膜，主要应用于大面积连续印刷制程制作平面显示器，可在常压低温下制备电气性质良好的闸极、漏极与源极金属薄膜，可大幅降低材料与制程设备成本，并可用于连续印刷涂布制作大面积可挠式面板。

主权项

1. 一种薄膜晶体管印刷制程方法，是利用印刷方式制备薄膜晶体管中的电极，该方法步骤包括有：定义一印刷图样，是将一包含SnCl2或银的络合离子的晶种材料定义该印刷图样于一印刷模块上；制备一基板与已定义图样的该印刷模块；进行该基板的表面处理；印刷该晶种材料于该基板上；浸置该基板于一包含金属离子的溶液中，该溶液为含有还原剂、安定剂与金属离子混合的溶液；还原金属离子，并沉积还原的金属材料；形成金属配线，是使用硫酸亚铁溶液将在该基板上不希望金属沉积的部分去除，即于该晶种材料位置形成该金属配线。