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发明名称 基板処理システム
摘要
申请公布号 JP5920981(B2) 申请公布日期 2016.05.24
申请号 JP20120213573 申请日期 2012.09.27
申请人 東京エレクトロン株式会社 发明人 須中 郁雄;森川 勝洋;古庄 智伸
分类号 H01L21/677;H01L21/027;H01L21/304 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
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