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发明名称 Infrared heating element and vacuum chamber with substrate heating, in particular for vacuum coating instalations
摘要
申请公布号 EP1631121(B1) 申请公布日期 2007.10.17
申请号 EP20040017775 申请日期 2004.07.27
申请人 APPLIED MATERIALS GMBH & CO. KG 发明人 HAAS, DIETER
分类号 H05B3/00;H05B3/42 主分类号 H05B3/00
代理机构 代理人
主权项
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