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发明名称 MULTI-AXIS CAPACITIVE TRANSDUCER
摘要
申请公布号 EP1756591(B1) 申请公布日期 2008.03.19
申请号 EP20050746188 申请日期 2005.05.27
申请人 ETH ZUERICH 发明人 BEYELER, FELIX;NELSON, BRADLEY, J.;SUN, YU
分类号 G01P15/125;B81B3/00;G01L1/14;G01L5/16;G01P15/08;G01P15/18;H02N1/00 主分类号 G01P15/125
代理机构 代理人
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