| 发明名称 | 铈系研磨材料 | ||
| 摘要 | 本发明的目的是提供在研磨损伤的产生得到抑制的同时研磨速度得到大幅改善的铈系研磨材料。本发明的铈系研磨材料的特征在于，它是相对于全部稀土类氧化物(TREO)的氧化铈含量为95质量％以上的铈系研磨材料，利用激光衍射·散射法测得的从小粒径侧开始的累积体积50％的粒径(D<SUB>50</SUB>)值为1.3～4.0μm。此外，较好的是本发明的铈系研磨材料通过基于Cu－Kα<SUB>1</SUB>射线的X射线衍射分析测定的氧化铈的最大峰的半宽度以2θ计为0.1～0.5°。 | ||
| 申请公布号 | CN101356248A | 申请公布日期 | 2009.01.28 |
| 申请号 | CN200780001175.2 | 申请日期 | 2007.02.19 |
| 申请人 | 三井金属鉱业株式会社 | 发明人 | 瓜生博美;山崎秀彦;小林大作;桑原滋 |
| 分类号 | C09K3/14(2006.01);C01F17/00(2006.01);B24B37/00(2006.01) | 主分类号 | C09K3/14(2006.01) |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 冯雅 |
| 主权项 | 1.铈系研磨材料，其特征在于，它是相对于全部稀土类氧化物(TREO)的氧化铈含量为95质量％以上的铈系研磨材料，利用激光衍射·散射法测得的从小粒径侧开始的累积体积50％的粒径(D50)值为1.3～4.0μm。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||