Lichtbogenverdampfungsvorrichtung,申请号DE20021056417-传众专利搜索

发明名称	Lichtbogenverdampfungsvorrichtung
摘要
申请公布号	DE10256417(A8)	申请公布日期	2004.09.23
申请号	DE20021056417	申请日期	2002.12.02
申请人	PVT PLASMA UND VAKUUM TECHNIK GMBH	发明人	CURTINS, HERMANN
分类号	C23C14/32;H01J37/32;(IPC1-7):C23C14/24	主分类号	C23C14/32
代理机构		代理人
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