膜形成方法及形成装置、电子装置及其制法、电子机器

摘要

本发明提供一种可有效地使用材料，同时可形成高质量的有机薄膜的膜形成方法、膜形成装置及使用其制造出的电子装置、电子机器。有机薄膜形成装置(10)备有：溶液供给部(11)、气体供给部(12)、软离子化部(13)、离子分开部(14)、偏转部(15)及成膜部(16)。用软离子化部(13)将应成膜的有机材料形成微细的液滴，同时离子化或使其带电后，使其液滴汽化并生成气体状的拟分子离子。而且，在离子分开部(14)中从拟分子离子中分开有机材料拟分子离子。另一方面，利用形成有机薄膜的电子装置基板上预先形成的电路，向该电子装置基板所形成的多个电极提供所定的附着电压，以使有机材料拟分子离子选择性地附着于所定电极上。

主权项

1.一种膜形成方法，其特征在于，备有：将材料变换生成为气体状的拟分子离子的步骤；和将已设于基板上的多个电极的电位设定为所定电位，并将上述拟分子离子选择性地附着于上述基板上的步骤。