差动式压电三维力传感器

摘要

一种差动式压电三维力传感器。该传感器包括由石英晶片和固定绝缘定位架所构成的测力计、带有信号引出插座的基座和基座的盖子。其中的绝缘定位架设置有八个定位孔，各定位孔的中心连线为正方形。四个定位孔在该正方形的四角，四角中的石英晶片均为X0°切型石英晶体，它们的X轴均垂直于该正方形、且相邻角晶片的轴向相反；另四个定位孔在该正方形四边的中点，中点定位孔中的石英晶片均为Y0°切型石英晶体，它们的X轴均平行于各自对应的边、且相对边晶片的轴向相反。本发明结构简单，易于加工制造，能实现对力信号的差动式测量；测量精度高，能克服因环境(如温度、湿度)的变化给测量带来的误差，并适合于多种场合下对空间三维力的测量。

主权项

1.差动式压电三维力传感器，该传感器包括由带有信号输出电极的石英晶片和固定该石英晶片的绝缘定位架所构成的测力计、既带有封装该测力计在其内的内腔又带有信号引出插座的基座、以及预压在石英晶片上并封盖住该基座的盖子，其特征在于，所述绝缘定位架(9)有八个定位孔，各定位孔的中心连线为正方形；四个定位孔在该正方形的四角，定位在四角定位孔中的石英晶片(1、3、5、7)均为X0°切型石英晶体，这四个晶片(1、3、5、7)的X轴均垂直于该正方形、且相邻角晶片的轴向相反；另四个定位孔在该正方形四边的中点，定位在四边中点定位孔中的石英晶片(2、4、6、8)均为Y0°切型石英晶体，这四个晶片(2、4、6、8)的X轴均平行于各自对应的边、且相对边晶片的轴向相反。