Mikromechanisches Sensor- oder Aktorbauelement und Verfahren zur Herstellung von mikromechanischen Sensor- oder Aktorbauelementen

摘要

Die Erfindung betrifft ein mikromechanisches Sensor- oder Aktorbauelement mit optischer Funktion und Herstellungsverfahren. Dabei weist ein Substrat Elektroden und elektrische Kontaktierungen, ein optisches, zum Substrat auslenkbares elektrisch angesteuertes Element auf. Ein transparenter Deckel ist ebenfalls vorhanden. Aufgabe der Erfindung ist es, ein mikromechanisches Sensor- oder Aktorbauelement mit optischer Funktion und ein Verfahren zur Herstellung solcher Bauelemente zu schaffen, bei denen Reflexionen, die die Funktion des mikromechanischen Sensor- oder Aktorbauelements beeinträchtigen könnten, zu verringern oder sogar zu vermeiden. Erfindungsgemäß ist dabei die optische Hauptsache des Deckels nicht senkrecht zur Oberfläche des Substrats ausgerichtet.