Method for producing SiO₂ carbon nanotubes comprising palladium nanograins

摘要

Sposób wytwarzania nanorurek SiO2 zawierajacych nanoziarna palladu polega na tym, ze otrzymuje sie nanodruty z krzemku palladu Pd2Si o strukturze heksagonalnej na plytce podlozowej Si o dowolnej orientacji krystalicznej i dowolnym typie domieszkowania z nanostrukturalnej warstwy weglowo-palladowej poprzez jej obróbke termiczna w zakresie temperatur 650°C-700°C w przeplywie argonu zawierajacego pary ksylenu w czasie 10-30 minut - w procesach PVD/CVD. Nastepnie nanodruty Pd2Si wygrzewa sie w powietrzu w temperaturze powyzej 900°C w czasie 15 minut.