滤光器、滤光器模块以及光分析装置

摘要

本发明提供了一种滤光器、滤光器模块以及光分析装置，该滤光器具备：固定基板；可动基板，与固定基板相对；第一反射膜，设置在固定基板的与可动基板相对的面上；第二反射膜，设置在可动基板上，隔着间隙与第一反射膜相对；第一电极，覆盖所述第一反射膜，延伸至第一反射膜的外周的外侧的范围而形成；以及第二电极，设置在可动基板的与固定基板相对的面上，并与第一电极的一部分相对，其中，第一电极由透光性材料形成，第一电极与第二反射膜电连接，处于等电位。

主权项

一种滤光器，其特征在于，具备：第一基板；第二基板，与所述第一基板相对；第一反射膜，设置在所述第一基板的与所述第二基板相对的面上；第二反射膜，设置在所述第二基板上，隔着间隙与所述第一反射膜相对；第一电极，在从厚度方向观察所述第一基板的俯视图中，所述第一电极覆盖所述第一反射膜，且所述第一电极遍及所述第一反射膜的整个外周并延伸至所述外周的外侧的范围而形成；以及第二电极，设置在所述第二基板的与所述第一基板相对的面上，所述第二电极与所述第一电极的一部分相对，其中，所述第一电极由透光性材料形成，所述第一电极与所述第二反射膜电连接。