发明名称 便携式硅片P型和N型快速区分仪
摘要 本实用新型提供一种便携式硅片P型和N型快速区分仪,包括:绝缘手柄;第一金属探针、第二金属探针,分别设置在所述绝缘手柄上,所述第一金属探针和第二金属探针头部接触待测硅片;发热元件,安装在所述第一金属探针上;万用表,接在所述第一金属探针和第二金属探针之间。本实用新型的区分仪依循的是汤姆逊温差电效应的原理,使用时,将发热元件接通发热,当待测硅片为N型时,温差电动势从第二金属探针端指向第一金属探针端;当待测硅片为P型时,温差电动势从第一金属探针端指向第二金属探针端,在万用表上呈现正负相反的电压值,从而可以快速区分硅片是N型还是P型。
申请公布号 CN205376476U 申请公布日期 2016.07.06
申请号 CN201620133335.5 申请日期 2016.02.22
申请人 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 发明人 张恒辉;汤敬计
分类号 H01L21/66(2006.01)I 主分类号 H01L21/66(2006.01)I
代理机构 上海光华专利事务所 31219 代理人 唐棉棉
主权项 一种便携式硅片P型和N型快速区分仪,其特征在于,所述区分仪至少包括:绝缘手柄;第一金属探针、第二金属探针,分别设置在所述绝缘手柄上,所述第一金属探针和第二金属探针头部接触待测硅片;发热元件,安装在所述第一金属探针上;万用表,接在所述第一金属探针和第二金属探针之间。
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