发明名称 |
便携式硅片P型和N型快速区分仪 |
摘要 |
本实用新型提供一种便携式硅片P型和N型快速区分仪,包括:绝缘手柄;第一金属探针、第二金属探针,分别设置在所述绝缘手柄上,所述第一金属探针和第二金属探针头部接触待测硅片;发热元件,安装在所述第一金属探针上;万用表,接在所述第一金属探针和第二金属探针之间。本实用新型的区分仪依循的是汤姆逊温差电效应的原理,使用时,将发热元件接通发热,当待测硅片为N型时,温差电动势从第二金属探针端指向第一金属探针端;当待测硅片为P型时,温差电动势从第一金属探针端指向第二金属探针端,在万用表上呈现正负相反的电压值,从而可以快速区分硅片是N型还是P型。 |
申请公布号 |
CN205376476U |
申请公布日期 |
2016.07.06 |
申请号 |
CN201620133335.5 |
申请日期 |
2016.02.22 |
申请人 |
中芯国际集成电路制造(北京)有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
发明人 |
张恒辉;汤敬计 |
分类号 |
H01L21/66(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/66(2006.01)I |
代理机构 |
上海光华专利事务所 31219 |
代理人 |
唐棉棉 |
主权项 |
一种便携式硅片P型和N型快速区分仪,其特征在于,所述区分仪至少包括:绝缘手柄;第一金属探针、第二金属探针,分别设置在所述绝缘手柄上,所述第一金属探针和第二金属探针头部接触待测硅片;发热元件,安装在所述第一金属探针上;万用表,接在所述第一金属探针和第二金属探针之间。 |
地址 |
100176 北京市大兴区大兴区经济技术开发区(亦庄)文昌大道18号 |