| 摘要 |
Substrathaltevorrichtung (101; 301) zum vertikalen Halten mehrerer in einer Ebene angeordneter Substrate, aufweisend: • zwei parallel zueinander verlaufende Lagerbereiche (106), an welchen die Substrathaltevorrichtung (101; 301) zum Transportieren dieser gelagert werden kann; und • zumindest einen zwischen den zwei Lagerbereichen angeordneter Substratauflagebereich (107), der eine ebene Auflagefläche (108) zum Halten eines Substrats in einer ersten Normalenrichtung (105) der Auflagefläche (108) aufweist; und • der zumindest zwei Einlegebereiche (109) zum Halten des Substrats in einer zur ersten Normalenrichtung (105) entgegengesetzten zweiten Normalenrichtung (104) und zum Halten eines Substrats tangential (102; 103) zur Auflagefläche (108) aufweist; und wobei • die zumindest zwei Einlegebereiche (109) so angeordnet und/oder ausgebildet sind, dass eine Ausdehnung des Substrats tangential (102; 103) zur Auflagefläche (108) nicht behindert wird. |
