发明名称 基于两端器件的脉冲参数测试系统
摘要 本发明提供一种基于两端器件的脉冲参数测试系统。所述系统包括所述系统包括脉冲源、具有第一通道和第二通道的两通道示波器、探针台以及位于所述探针台上的待测的两端器件和晶体管,其中,所述脉冲源与所述待测的两端器件、所述晶体管组成串联支路,所述第一通道的输入端连接所述待测的两端器件的输入端,所述第一通道的输出端接地,所述第二通道的输入端连接所述待测的两端器件的输出端,所述第二通道的输出端接地。本发明能够对测试系统实现更好的限流作用,并降低了测试系统中的寄生电容,减小了充放电对测试准确性的干扰,以得到更准确的测试参数。
申请公布号 CN105957558A 申请公布日期 2016.09.21
申请号 CN201610248982.5 申请日期 2016.04.20
申请人 中国科学院微电子研究所 发明人 刘明;罗庆;许晓欣;吕杭炳;龙士兵;刘琦
分类号 G11C29/50(2006.01)I 主分类号 G11C29/50(2006.01)I
代理机构 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 代理人 张瑾
主权项 一种基于两端器件的脉冲参数测试系统,其特征在于,所述系统包括脉冲源、具有第一通道和第二通道的两通道示波器、探针台以及位于所述探针台上的待测的两端器件和晶体管,其中,所述脉冲源与所述待测的两端器件、所述晶体管组成串联支路,所述第一通道的输入端连接所述待测的两端器件的输入端,所述第一通道的输出端接地,所述第二通道的输入端连接所述待测的两端器件的输出端,所述第二通道的输出端接地。
地址 100029 北京市朝阳区北土城西路3号