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Verfahren zur Verbesserung der Bildqualität eines Ladungsträgerteilchen-Rastermikroskops und Ladungsträgerteilchen-Rastermikroskop Eine Ladungsträgerteilchen-Rastermikroskopvorrichtung umfasst eine Bildqualitätsverbesserungseinheit (225), die ein Bildqualitätsverbesserungsverfahren auf Bilddaten anwendet, die erhalten werden durch Erfassen von von einer Probe (206) erzeugten Partikeln, wobei die Bildqualitätsverbesserungseinheit (225) einen Bereich, in dem die Bilddaten gewonnen werden, in zwei oder mehr Bereiche unterteilt auf der Grundlage eines Abstandes von einem Bereich, in dem die Bilddaten innerhalb des Sichtfeldes der optischen Ladungsträgerteilchen-Einheit nicht gewonnen werden, ein Bildqualitätsverbesserungsverarbeitungsverfahren und einen Verarbeitungsparameter bestimmt zur Bildqualitätsverbesserung der Bilddaten in jedem der getrennten Bereiche entsprechend den getrennten Bereichen, und ein Bildqualitätsverbesserungsverfahren auf die Bilddaten in jedem der getrennten Bereiche anwendet unter Verwendung des bestimmten Verarbeitungsverfahrens und des Verarbeitungsparameters, die dem getrennten Bereich entsprechen. |
